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直線電機動態(tài)計量應用的關鍵技術考慮因素
發(fā)布時間:2018-10-25 作者來源:摩森機電 訪問次數:3652

在世界各地,各種類型的計量應用共同需要提高精度。計量學是測量的科學研究。計量應用程序采用某種類型的測量來收集某些數據。生命科學,半導體和電子制造等市場依靠計量儀器來確保其過程正確完成。當您意識到樣品/產品可能非常小(即人體細胞)以及高度敏感(即觸摸屏電子)時,對精確度的需求將得到進一步強調。擁有高精度的運動技術是確保應用成功完成的關鍵。 

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計量應用

下面列出了市場上的計量應用的一些例子。許多應用程序也可用于多個市場。例如,所有市場都會在其流程中使用某種類型的顯微鏡。

生命科學  

  • 顯微鏡

  • 光譜

  • DNA測序

半導體

  • 晶圓檢查

  • 光刻

  • 光學輪廓術

電子產品

  • 激光輪廓術

  • 非接觸式計量


計量應用的類型

有不同類型的計量應用,每個都有自己的關鍵考慮因素。這篇博客文章將重點關注動態(tài)計量。

  • 動態(tài)計量 - 在測量傳感器或被測單元運動時收集測量數據的應用

  • 靜態(tài)計量 - 在測量傳感器和被測單元都處于穩(wěn)定位置時收集測量數據的應用

  • 聚焦 - 一種特殊類型的靜態(tài)測量,其中軸(通常是垂直的)用于聚焦在樣品上進行測量


動態(tài)計量

靜態(tài)計量需要良好的速度和輪廓控制,而動態(tài)應用需要穩(wěn)定和穩(wěn)定性控制。動態(tài)計量應用越來越多地與高科技市場中基于激光的光譜測定和應用相關聯。半導體和電子制造業(yè)幾乎在所有工藝中都使用線掃描,而進行高內容通量細胞分析或DNA /基因測序的生命科學儀器也是動態(tài)的。精密激光切割也是一種動態(tài)應用。由于執(zhí)行器在進行測量時處于運動狀態(tài),因此關鍵規(guī)格與其運動性能有關,包括:

 

  • 定位誤差通常根據定位精度和定位的可重復性來規(guī)定。這些錯誤的實際來源可能出現在三個子類別中 - 線性,阿貝(滾動,俯仰,偏航)和平面誤差。這些錯誤的來源各不相同,可能在生產過程中或應用程序正在進行時發(fā)生。例子包括偏轉,摩擦,軸承和加工不一致以及反饋裝置。

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  • 速度控制與舞臺運動的速度和控制它的能力有關。當與命令速度相比存在速度變化時,這被稱為速度波動。速度控制對于動態(tài)計量應用至關重要,因為如果在整個應用過程中速度變化,則無法始終獲得準確且一致的結果。

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對于要求高精度和高速度的動態(tài)測量應用而言,最佳執(zhí)行器選項是線性電機驅動級,特別是帶有無鐵心直線電機的級。由于線性馬達直接耦合到線性負載,因此與螺釘或皮帶驅動的致動器相比,齒隙,效率損失和其他位置不準確性大大降低。而且,線性電動機通常具有較小的形狀因數,總體上將改善剛度和位置誤差。最后,線性電機執(zhí)行器在整個應用中可以最好地控制其速度。 


在保持合理的商業(yè)成本的同時,線性電機執(zhí)行器是唯一能夠滿足前面討論的動態(tài)計量應用的關鍵規(guī)格的執(zhí)行器。為了證實這一點,派克使用激光干涉儀測量任何潛在的位置誤差。在測試之后,生成關于執(zhí)行器性能的報告,其始終顯示線性馬達致動器優(yōu)于具有其他傳動系機構的致動器。 


派克計量應用解決方案

線性電機執(zhí)行器的級穩(wěn)定性和速度控制對于成功的動態(tài)計量應用至關重要。Parker在高科技精密市場擁有20多年的經驗,提供專業(yè)知識和咨詢服務,幫助儀器開發(fā)人員優(yōu)化設備和工藝的精確度。這些流程優(yōu)化將有助于持續(xù)降低客戶的總體支出,同時提高吞吐量。